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項        目

國  標
GB/T18867-2014

六氟化硫(SF6)含量（體積分數(shù)）/10-2         ≥

99.999

（氧+氬）（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6        ≤

2.0

氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6            ≤

2.0

四氟化碳(CF4)含量（體積分數(shù)）/10-6         ≤

1.0

一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6         ≤

0.5

二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6         ≤

0.5

甲烷(CH4) 含量（體積分數(shù)）/10-6         ≤

0.5

水分(H2O)的（體積分數(shù)）/10-6               ≤

3.0

酸度（以HF計）的質(zhì)量分數(shù)/10-6         ≤

0.1

可水解氟化物（以HF計）的質(zhì)量分數(shù)/10-6   ≤

0.8

雜質(zhì)綜合的體積分數(shù)/10-6                ≤

10

顆粒

由供需雙方商定