????：GB/T12022-2014

????

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??? ????????（SF6）????/10-2,≥ 

99.9

??（Air） ????/10-6,               ≤

300

??? ?????????（CF4）????/10-6,               ≤

100

????????（C2F6) ????/10-6,               ≤

200

?????????（C3F8) ????/10-6,               ≤

50

?(H2O) ????/10-6,               ≤

5.0

??（HF? ??）????/10-6,               ≤

0.2

?? ??? ??（HF? ??）????/10-6,               ≤

1.0

????????/10-6,               ≤

4.0

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