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|
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|
CF4 |
≥99.999 |
%V |
|
O2+Ar |
≤1 |
ppmv |
|
N2 |
≤4 |
ppmv |
|
CO2 |
≤1 |
ppmv |
|
CO |
≤1 |
ppmv |
|
SF6 |
≤1 |
ppmv |
|
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≤1 |
ppmv |
|
H2O |
≤1 |
ppmv |
|
??(HF) |
≤0.1 |
ppmw |
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