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C2F6 |
≥99.999 |
%V |
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N2 |
≤4 |
ppmv |
|
O2 |
≤1 |
ppmv |
|
CO |
≤1 |
ppmv |
|
CO2 |
≤1 |
ppmv |
|
THC (CH4) |
≤1 |
ppmv |
|
H2O |
≤1 |
ppmv |
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≤3 |
ppmv |
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??(HF) |
≤0.1 |
ppmw |
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