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C3F8 |
≥99.99 |
%V |
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空氣 |
≤30 |
ppmv |
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CO2 |
≤2 |
ppmv |
|
H2O |
≤10 |
ppmv |
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≤50 |
ppmv |
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??(HF) |
≤0.1 |
ppmw |
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