実行基準：GB7746-2011

項目

指標

Ⅰ類

Ⅱ類

優(yōu)等品
優(yōu)等品

一等品
一等品

合格品
合格品

氟化氫質(zhì)量分數(shù)
フッ化水素の質(zhì)量點數(shù)/%           ≥

99.98

99.96

99.92

99.80

水分　　　水分/%             ≤

0.005

0.02

0.04

0.06

氟硅酸　　ヘキサフルオロケイ酸/%             ≤

0.005

0.008

0.015

0.050

二氧化硫　  二酸化硫黃/%             ≤

0.003

0.005

0.010

0.030

不揮發(fā)酸　　不揮発性酸/%             ≤

0.005

0.005

0.010

0.050