実行基準(zhǔn)：GB/T12022-2014

項(xiàng)目

指標(biāo)

六氟化硫（SF6）質(zhì)量分?jǐn)?shù)/10-2,
六フッ化硫黃（SF6）の質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-2,            ≥

99.9

空氣 空気質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

300

四氟化碳　四フッ化炭素質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

100

六氟乙烷 六フッ素エタン質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

200

八氟丙烷 八フッ素プロパン質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

50

水 水質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

5.0

酸度（以HF計(jì)）酸度（HFで計(jì)上）質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

0.2

可水解氟化物（以HF計(jì)）
可加水分解フッ化物（HFで計(jì)上）質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

1.0

礦物油 鉱物油質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

4.0

生物試驗(yàn) 生物テスト質(zhì)量點(diǎn)數(shù)/10-6,               ≤

無(wú)毒