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製品の紹介
電子級無水フッ化水素
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項目 |
單位 単位 |
規(guī)格值 規(guī)格値 |
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1 |
氫氟酸 フッ化水素酸 |
HF |
wt% |
≥99.999 |
2 |
氯化物 塩化物 |
Cl |
ppb |
≤100 |
3 |
硝酸鹽 硝酸塩 |
NO3 |
ppb |
≤100 |
4 |
磷酸鹽 リン酸塩 |
PO4 |
ppb |
≤100 |
5 |
硫酸鹽 硫酸塩 |
SO4 |
ppb |
≤100 |
6 |
硅 シリコン |
Si |
ppb |
≤100 |
7 |
鐵 鉄 |
Fe |
ppb |
≤50 |
8 |
鎳 ニッケル |
Ni |
ppb |
≤50 |
9 |
鉻 クロム |
Cr |
ppb |
≤50 |
10 |
銅 銅 |
Cu |
ppb |
≤50 |
11 |
鈉 ナトリウム |
Na |
ppb |
≤50 |
12 |
鈣 カルシウム |
Ca |
ppb |
≤50 |