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製品の紹介
品質標準:
分子式:CF4 分子量:88
項目
|
コンテンツ |
単位 |
CF4 |
≥99.999 |
%V |
O2+Ar |
≤1 |
ppmv |
N2 |
≤4 |
ppmv |
CO2 |
≤1 |
ppmv |
CO |
≤1 |
ppmv |
SF6 |
≤1 |
ppmv |
Other Halocarbons |
≤1 |
ppmv |
H2O |
≤1 |
ppmv |
Acidity(HF) |
≤0.1 |
ppmw |
性狀:
四フッ化炭素は永久気體です。常溫常圧には無色無臭気體です??諝荬摔先紵啢丹欷胜贰捕ǖ膜识拘预胜肺镔|です。
用途:
四フッ化炭素は目前電子工業(yè)にのプラズマ エッチング ガスとして使用されて、使用量が第一です。広く電子部品の表面清潔、回路プリントの生産中の洗剤などに大量使用されています。
保存:
涼しくて、通風良い、熱源を離れ、溫度が30℃以內の倉庫に保存してください。フルボトルや空のびんが別れて保管してください。
運送:
四フッ化炭素の運送が「ボンベ安全監(jiān)査規(guī)程」の要求をかないます。
包裝:
特殊処理されの清潔で幹燥的なシームレスなガスボンベで包裝してください。容積が40L、12.5L、10L、8L、4Lなど、又は顧客さんからの要求通りに包裝できます。